微光机电系统加速度计技术现状与应用展望
朱启举, 王小旭, 梅春波, 杨鹏翔, 卢乾波
Technology Status and Application Outlook of Micro-Opto-Electro-Mechanical System Accelerometers
ZHU Qiju, WANG Xiaoxu, MEI Chunbo, YANG Pengxiang, LU Qianbo
前瞻科技
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2022, (4): 81
-98
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DOI: 10.3981/j.issn.2097-0781.2022.04.006
