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微纳机器人是特征尺寸和/或功能尺寸在亚毫米以下的机器人，分为微纳操作机器人和微纳游动机器人。随着微纳机器人20余年来的发展，为微纳制造、生物医学等领域提供变革性的研究方法与实现手段，微纳机器人融合了“自上而下”和“自下而上”的加工方法，是微纳米制造及生物体内探测等方向的制高点，已成为各国科学研究的必争之地。同时其也是美国《出口管制改革法案》管制的前沿技术。文章主要总结了微纳机器人近期重要的发展，阐述了中国学界在其中发挥的重要作用，并对其未来的发展方向与规模化应用进行展望。
