多重图形技术用光刻材料研究进展及挑战

多重图形技术用光刻材料研究进展及挑战

李冰, 孙嘉, 陈昕

Progress and Challenges of Lithographic Materials for Multi-patterning Process

LI Bing, SUN Jia, CHEN Cindy Xin

前瞻科技 . 2022, (3): 73 -83 . DOI: 10.3981/j.issn.2097-0781.2022.03.006