先进CMOS制造工艺的技术演进及自主发展思考
张卫, 徐敏, 陈鲲, 刘桃, 杨静雯, 孙新, 黄自强, 汪大伟, 吴春蕾, 王晨, 徐赛生
Evolution of Advanced CMOS Technology and Suggestions for Its Development in China
ZHANG Wei, XU Min, CHEN Kun, LIU Tao, YANG Jingwen, SUN Xin, HUANG Ziqiang, WANG Dawei, WU Chunlei, WANG Chen, XU Saisheng
前瞻科技
.
2022, (3): 52
-60
.
DOI: 10.3981/j.issn.2097-0781.2022.03.004
