后摩尔时代集成电路产业技术的发展趋势

后摩尔时代集成电路产业技术的发展趋势

卜伟海, 夏志良, 赵治国, 刘芸, 周亦康

Development of Integrated Circuit Industrial Technologies in the Post-Moore Era

BU Weihai, XIA Zhiliang, ZHAO Zhiguo, LIU Yun, ZHOU Yikang

前瞻科技 . 2022, (3): 20 -41 . DOI: 10.3981/j.issn.2097-0781.2022.03.002